ДРКс-1500М

Лампа ДРКс1500М дуговая, разрядная, сверхвысокого давления,ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники таких как ЭМ-584, ЭМ-5084Б и установках ASML, Nikon и др. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI). Основные технические параметры лампы ДРКС-1500 : Мощность (номинальная) 1500Вт. Мощность излучения излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (Вт.) 143 Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (mВтстрд) 13400 Напряжение на лампе 34В. Ток лампы 45А. Рабочее положение вертикальное анодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15°