Лампы ртутно-ксеноновые сверхвысокого давления с короткой дугой типа ДРКс

Лампы ДРКс короткодуговые, разрядные, сверхвысокого давления, ультрафиолетовые, непрерывного действия, предназначены для ипользования в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники.. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI). В качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения высокой яркости в фотолитографическом оборудовании, технологических установках микроэлектроники и оптических устройств широкого назначения.